簡易檢索 / 檢索結果

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    運用DMD無光罩微影技術於薄膜電晶體製程之研究
    • 機械工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 蔡敏隆 指導教授: 鄭正元
    • 本論文主要是利用先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)製作TFT…
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